1. Kev ntshiab
Lub purity ntawm lub hom phiaj titanium muaj kev cuam tshuam zoo rau cov khoom ntawm sputtered films. Qhov siab dua qhov purity ntawm lub hom phiaj, qhov tsawg impurity cov ntsiab lus nyob rau hauv cov zaj duab xis sputtered, thiab qhov zoo ntawm cov zaj duab xis kev ua tau zoo (xws li corrosion kuj, optical thiab hluav taws xob zog). Hauv kev siv tswv yim, purity yuav tsum tau ntawm titanium lub hom phiaj rau ntau lub hom phiaj yog txawv. . Piv txwv li, cov kev cai purity ntawm lub hom phiaj rau kev kho kom zoo nkauj txheej tsis xav tau, thaum lub hom phiaj rau kev sib koom ua ke, lub cev thiab lwm qhov chaw muaj ntau dua qhov yuav tsum tau ua rau purity, feem ntau nyob ib ncig ntawm 99.999 feem pua lossis siab dua.
2. Qhov nruab nrab grain loj
Feem ntau lub hom phiaj titanium muaj cov qauv polycrystalline, thiab cov nplej loj tuaj yeem nyob ntawm microns mus txog millimeters. Lub sputtering tus nqi ntawm lub hom phiaj zoo-me me yog sai dua li ntawm lub hom phiaj ntxhib-grained. Lub thickness tis ntawm cov tshuaj tsuag deposited zaj duab xis kuj kuj sib xws. Qhov nruab nrab grain loj ntawm titanium lub hom phiaj rau kev sib xyaw ua ke feem ntau yuav tsum nyob rau hauv 30 μm, thiab qhov nruab nrab ntawm cov nplej loj ntawm ultrafine-grained titanium lub hom phiaj yog qis dua 10 μm.
3. Crystal orientation
Titanium muaj ib tug kaw-packed hexagonal qauv. Thaum lub sij hawm sputtering, titanium lub hom phiaj atoms tau yooj yim sputtered raws cov kev taw qhia ntawm hexagonal kev npaj ntawm atoms. Yog li ntawd, txhawm rau kom ua tiav qhov siab tshaj plaws sputtering tus nqi, nws muaj peev xwm nce tus nqi sputtering los ntawm kev hloov cov qauv siv lead ua ntawm lub hom phiaj. sputtering tus nqi. Lub crystallization kev taw qhia ntawm lub hom phiaj titanium kuj muaj kev cuam tshuam zoo rau lub thickness uniformity ntawm sputtered zaj duab xis txheej, thiab cov yeeb yaj kiab loj ntawm lub tiaj tiaj thiab cov txheej zoo nkauj yog cov tuab, yog li qhov yuav tsum tau ua rau cov nplej orientation ntawm lub hom phiaj titanium yog kuj qis.
4. Geometry thiab loj
Nws yog qhov tseem ceeb ntawm kev ua haujlwm raug thiab kev ua haujlwm zoo, xws li kev ua haujlwm loj, nto flatness, roughness, thiab lwm yam. Cov thickness me me yuav cuam tshuam rau lub neej kev pab cuam ntawm lub hom phiaj; qhov ntxhib heev sealing nto thiab sealing zawj yuav ua rau lub tshuab nqus tsev teeb meem tom qab lub hom phiaj raug teeb tsa; roughening lub sputtering nto ntawm lub hom phiaj tuaj yeem ua rau saum npoo ntawm lub hom phiaj tag nrho ntawm cov lus qhia protruding, nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm cov lus qhia, lub peev xwm ntawm cov lus qhia no yuav nce siab heev, yog li rhuav tshem cov dielectric tawm. Txawm li cas los xij, ib qho loj heev protrusion yog kev puas tsuaj rau qhov zoo thiab ruaj khov ntawm sputtering.
Peb lub tuam txhab tuaj yeem muab cov titanium alloys xws liTitanium Aluminium Sputter TargetsthiabTitanium Ti Sputtering Target, nrog rau titanium lub hom phiaj ntawm purity sib txawv thiab cov duab, thiab kuj txais kev pabcuam customized. Yog tias tsim nyog, thov hu rau peb ntawm email.
