Los ntawm cov qauv kev pom, lub hom phiaj feem ntau muaj ob ntu: "lub hom phiaj tsis muaj" thiab "rov qab phaj". Lub hom phiaj dawb paug yog lub hom phiaj cov ntaub ntawv bombarded los ntawm high-ceev ion beam. Nws yog ib feem tseem ceeb ntawm lub hom phiaj sputtering thiab koom nrog high-purity hlau thiab grain orientation tswj. Lub phaj nraub qaum feem ntau ua lub luag haujlwm ntawm kev kho lub hom phiaj sputtering thiab koom nrog cov txheej txheem vuam. Tam sim no, hom sputtering lub hom phiaj backplate cov ntaub ntawv feem ntau suav nrog oxygen-dawb tooj liab, tooj liab alloy, molybdenum thiab stainless hlau tube backplate cov ntaub ntawv.
1. Yog vim li cas rau nruab backplate
Lub hom phiaj sib dhos yog tsim los ntawm lub hom phiaj dawb paug nrog kev sib xyaw sputtering kev ua tau zoo thiab lub nraub qaum ua ke nrog lub hom phiaj dawb paug los ntawm vuam. Nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm sputtering, lub hom phiaj los ua ke yog nyob rau hauv ib tug hnyav ua hauj lwm ib puag ncig. Ib sab ntawm lub nraub qaum yog qhov txias txias los ntawm qee qhov siab ntawm cov dej txias, thaum ib sab ntawm lub hom phiaj khoob yog nyob rau hauv qhov kub-kub lub tshuab nqus tsev, yog li qhov sib txawv loj loj yog tsim nyob rau sab nraud ntawm lub hom phiaj sib dhos. Tsis tas li ntawd, ib sab ntawm lub hom phiaj yog bombarded los ntawm ntau yam hais nyob rau hauv high voltage hluav taws xob teb thiab muaj zog magnetic teb, thiab ib tug ntau ntawm tshav kub yog generated.
Nyob rau hauv xws li ib puag ncig hnyav, txhawm rau ua kom muaj kev ruaj ntseg ntawm cov yeeb yaj kiab zoo thiab qhov zoo ntawm lub hom phiaj sib dhos, qhov zoo ntawm lub hom phiaj billet thiab backplane thiab qhov sib txuas ntawm qhov sib txuas tau dhau los ua ntau thiab xav tau, txwv tsis pub nws yooj yim rau kev ua. mus rau lub deformation thiab tawg ntawm lub hom phiaj los ua ke nyob rau hauv kub tej yam kev mob, uas cuam tshuam rau cov zaj duab xis zoo thiab txawm ua rau puas tsuaj rau lub sputtering puag.
2. Cov khoom siv rau kev tsim khoom siv rov qab
Cov phaj thaub qab yog siv los kho cov khoom siv sputtering thiab xav tau kom muaj hluav taws xob zoo thiab thermal conductivity. Thaum lub sij hawm txheej txheem magnetron sputtering txheej, lub hom phiaj yuav tsum tau tiv thaiv ob qho tib si cov dej txias rau sab nraum qab thiab lub tshuab nqus tsev tsis zoo rau pem hauv ntej. Copper thiab tooj liab alloy backplanes feem ntau raug xaiv los ua lub hom phiaj hauv qab vim tias lawv muaj qhov zoo hauv qab no:
(1) High thermal conductivity: Nws tuaj yeem ua tau zoo ua cov cua sov tsim tawm ntawm lub hom phiaj saum npoo thaum txheej txheem sputtering mus rau qhov txias txias. Qhov no pab ua kom qhov kub ntawm lub hom phiaj ruaj khov thiab tiv thaiv lub hom phiaj tawg lossis kev ua haujlwm degradation vim overheating.
(2) Muaj hluav taws xob conductivity: Nws tuaj yeem txhim kho qhov kev ua tau zoo tam sim no thaum lub sij hawm sputtering. Qhov no yuav pab txo qis kev poob qis ntawm lub hom phiaj thiab cov magnetron sputtering system, yog li txhim kho sputtering efficiency.
(3) Lub zog txhua yam: tuaj yeem muab kev txhawb nqa ruaj khov. Qhov no pab xyuas kom meej tias lub hom phiaj tsis tawg vim kev co los yog kev ntxhov siab thaum lub sij hawm sputtering.
(4) Uniform sputtering: Cov tooj liab backplate tuaj yeem txhim kho cov khoom siv hluav taws xob sib txawv ntawm lub hom phiaj, yog li ua tiav ntau yam sputtering thiab txhim kho qhov sib xws ntawm zaj duab xis.
(5) Txhim kho lub neej kev pab cuam ntawm lub hom phiaj: Vim lub thermal conductivity thiab hluav taws xob conductivity ntawm tooj liab backing phaj, kev khiav hauj lwm kub thiab tsis kam ntawm lub hom phiaj yuav raug txo, yog li ntawd slows down lub coj ntawm lub hom phiaj thiab ncua nws. kev pabcuam lub neej.
3. Backplane binding txheej txheem
(1) Ua ntej kho qhov chaw ntawm lub hom phiaj thiab rov qab lub hom phiaj ua ntej khi;
(2) Txhim kho lub hom phiaj rov qab ntawm lub rooj cua sov, tso lub hom phiaj ntawm lub phaj rov qab, thiab ua kom sov rau qhov ntsuas kub;
(3) Metalize lub hom phiaj thiab lub hom phiaj rov qab, thiab solder lub hom phiaj rau lub phaj tooj liab;
(4) khi lub hom phiaj thiab lub hom phiaj rov qab, tso lub qhov hnyav ntawm lub hom phiaj kom deb ntawm lub phaj tooj liab, thiab tshem tawm qhov hnyav tom qab lub hom phiaj txias;
(5) Txias tom qab ua tiav.
